Halbleiter-Drucksensor

A semiconductor pressure sensor includes a pressure sensor chip including a diaphragm at the center thereof for measuring pressure and a die with an opening for introducing the pressure to the diaphragm. The pressure sensor chip is fixed to the die using an adhesive agent. Furthermore, prevention gr...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: ICHIHASHI, MOTOMI
Format: Patent
Sprache:ger
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