Halbleiter-Drucksensor
A semiconductor pressure sensor includes a pressure sensor chip including a diaphragm at the center thereof for measuring pressure and a die with an opening for introducing the pressure to the diaphragm. The pressure sensor chip is fixed to the die using an adhesive agent. Furthermore, prevention gr...
Gespeichert in:
1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | ger |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Schreiben Sie den ersten Kommentar!