Determination of the thickness of thin silane films on aluminium surfaces by means of spectroscopic ellipsometry
The thickness of thin films of non-functional silane bis-1,2-(triethoxysilyl)ethane (H 5C 2O) 3Si-CH 2CH 2-Si(OC 2H 5) 3 (BTSE) deposited on aluminium surfaces is investigated using spectroscopic ellipsometry (250–1700 nm). The data processing of the ellipsometry spectra is carried out by means of s...
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Veröffentlicht in: | Thin solid films 2001-03, Vol.384 (1), p.37-45 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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