Determination of the thickness of thin silane films on aluminium surfaces by means of spectroscopic ellipsometry

The thickness of thin films of non-functional silane bis-1,2-(triethoxysilyl)ethane (H 5C 2O) 3Si-CH 2CH 2-Si(OC 2H 5) 3 (BTSE) deposited on aluminium surfaces is investigated using spectroscopic ellipsometry (250–1700 nm). The data processing of the ellipsometry spectra is carried out by means of s...

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Thin solid films 2001-03, Vol.384 (1), p.37-45
Hauptverfasser: Franquet, A., De Laet, J., Schram, T., Terryn, H., Subramanian, V., van Ooij, W.J., Vereecken, J.
Format: Artikel
Sprache:eng
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