Influence of annealing temperature on the optoelectronic properties of ITZO thin films

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Nanotechnology 2021-10, Vol.32 (40), p.405701
Hauptverfasser: Ding, Anning, You, Ruisong, Luo, Shulin, Gong, Jianhong, Song, Shumei, Wang, Kunlun, Dai, Bo, Sun, Hui
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0957-4484
1361-6528
DOI:10.1088/1361-6528/ac0dda