PELLICLE MEMBRANE

A pellicle membrane for a lithographic apparatus, wherein the pellicle membrane comprises metal silicide and a reinforcing network. The reinforcing network can be located between metal silicide layers. The reinforcing network can be irregular. The reinforcing network includes windows with a maximum...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: DONMEZ NOYAN, Inci, FERRE LLIN, Lourdes, ROLLIER, Anne-Sophie, VAN DER WOORD, Ties, GIESBERS, Adrianus, AGRICOLA, Franciscus, DE GRAAF, Dennis, ANDE, Chaitanya Krishna, BIRON, Maxime, SI, Fai Tong
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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