PELLICLE MEMBRANE

A pellicle membrane for a lithographic apparatus, wherein the pellicle membrane comprises metal silicide and a reinforcing network. The reinforcing network can be located between metal silicide layers. The reinforcing network can be irregular. The reinforcing network includes windows with a maximum...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	DONMEZ NOYAN, Inci, FERRE LLIN, Lourdes, ROLLIER, Anne-Sophie, VAN DER WOORD, Ties, GIESBERS, Adrianus, AGRICOLA, Franciscus, DE GRAAF, Dennis, ANDE, Chaitanya Krishna, BIRON, Maxime, SI, Fai Tong
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	A pellicle membrane for a lithographic apparatus, wherein the pellicle membrane comprises metal silicide and a reinforcing network. The reinforcing network can be located between metal silicide layers. The reinforcing network can be irregular. The reinforcing network includes windows with a maximum dimension of up to 20 microns. The reinforcing network includes windows having an average size of at least 5 microns. L'invention concerne une membrane pelliculaire pour un appareil lithographique, la membrane pelliculaire comprenant du siliciure métallique et un réseau de renforcement. Le réseau de renforcement peut être situé entre des couches de siliciure métallique. Le réseau de renforcement peut être irrégulier. Le réseau de renforcement comprend des fenêtres ayant une dimension maximale allant jusqu'à 20 microns. Le réseau de renforcement comprend des fenêtres ayant une taille moyenne d'au moins 5 microns.