EMISSIVITY CORRECTED RADIATION PYROMETER INTEGRAL WITH A REFLECTOMETER AND ROUGHNESS SENSOR FOR REMOTE MEASURING OF TRUE SURFACE TEMPERATURES

An instrument that measures reflectivity, temperature and roughness of a substrate in a processing chamber remotely, without interfering with the process. The roughness of the substrate is estimated on the basis of depolarization measurements. The instrument automatically corrects for emissivity cha...

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1. Verfasser: CHAMPETIER, ROBERT, J
Format: Patent
Sprache:eng ; fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:An instrument that measures reflectivity, temperature and roughness of a substrate in a processing chamber remotely, without interfering with the process. The roughness of the substrate is estimated on the basis of depolarization measurements. The instrument automatically corrects for emissivity changes. Instrument permettant de mesurer à distance la réflexivité, la température et la rugosité d'un substrat dans une chambre de traitement, sans interférer avec le processus en cours. La rugosité du substrat est estimée en se basant sur des mesures de dépolarisation. Cet instrument corrige automatiquement les variations d'émissivité.