Flexure with integral actuator

A flexure (10) for a micro-electro-mechanical device includes a longitudinal beam (12). An actuator (18) integral to the beam (12) acts to flex the beam (12) when activated.

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: IVES, THOMAS WAYNE
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:A flexure (10) for a micro-electro-mechanical device includes a longitudinal beam (12). An actuator (18) integral to the beam (12) acts to flex the beam (12) when activated.