Computational lithography

A Unified Summary of the Models and Optimization Methods Used in Computational Lithography. Optical lithography is one of the most challenging areas of current integrated circuit manufacturing technology. The semiconductor industry is relying more on resolution enhancement techniques (RETs), since t...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Ma, Xu 1983- (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Arce, Gonzalo R. (MitwirkendeR)
Format:	Elektronisch E-Book
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Hoboken, N.J. Wiley 2010
Schriftenreihe:	Wiley series in pure and applied optics
Schlagworte:	Microlithography > Mathematics Integrated circuits > Design and construction > Mathematics Photolithography > Mathematics Semiconductors > Etching > Mathematics Resolution (Optics) Microlithographie ; Mathématiques Circuits intégrés ; Conception et construction ; Mathématiques Photolithographie ; Mathématiques Semi-conducteurs ; Attaque chimique ; Mathématiques Résolution (Optique) resolution (optical concept) TECHNOLOGY & ENGINEERING ; Electronics ; Circuits ; General
Online-Zugang:	lizenzpflichtig
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