Handbook of silicon based mems materials and technologies
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Amsterdam
Elsevier
2020
|
| Ausgabe: | Third edition. |
| Schriftenreihe: | Micro and nano technologies series
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| Online-Zugang: | Volltext |
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