Ultra clean processing of semiconductor surfaces XI selected, peer reviewed papers from the 11th international symposium on ultra clean processing of semiconductor surfaces (UCPSS), September 17-19, 2012, Gent, Belgium
This volume covers various aspects of ultra-clean technology for the large-scale integration of semiconductors. These include cleaning and contamination control in both front-end-of-line (FEOL) and back-end-of-line (BEOL) processing, as well as cleaning for semiconductor photo-voltaic applications....
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | , , |
| Format: | Tagungsbericht E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Durnten-Zurich, Switzerland
Trans Tech Publications Ltd.
[2013]
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| Schriftenreihe: | Solid state phenomena
v. 195 |
| Online-Zugang: | Volltext |
| Tags: |
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