MEMS packaging
MEMS Packaging discusses the prevalent practices and enabling techniques in assembly, packaging and testing of microelectromechanical systems (MEMS). The entire spectrum of assembly, packaging and testing of MEMS and microsystems, from essential enabling technologies to applications in key industrie...
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
London
INSPEC
©2004
|
| Schriftenreihe: | EMIS processing series
no. 3 |
| Online-Zugang: | Volltext |
| Tags: |
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