Semiconductor industrial hygiene handbook monitoring, ventilation, equipment, and ergonomics
This book provides a review of the primary industrial hygiene topics relevant to semiconductor processing: chemical and physical agents, and ventilation systems. Chapters include industrial hygiene concerns that are not specific to the semiconductor industry: ergonomics, indoor air quality, personal...
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| Format: | E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Park Ridge, N.J., U.S.A.
Noyes Publications
©1995
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| Schriftenreihe: | Materials science and process technology series
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| Online-Zugang: | Volltext |
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