Großflächige Topographiemessungen mit einem Weißlichtinterferenzmikroskop und einem metrologischen Rasterkraftmikroskop
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Erlangen
FAU University Press
2022
|
| Schriftenreihe: | FAU Studien aus dem Maschinenbau
Band 390 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | kostenfrei kostenfrei kostenfrei kostenfrei Inhaltsverzeichnis |
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