Fabrication of GaAs Devices
The following topics are dealt with: semiconductor properties, semiconductor growth, cleaning; passivation; dry etching; ohmic contacts; Schottky contacts; field effect transistors; heterojunction bipolar transistors; wet oxidation; optoelectronic device; and MIS GaAs device
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Stevenage
IET
2005
|
| Schriftenreihe: | Circuits, Devices and Systems
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | UBY01 URL des Erstveröffentlichers |
| Tags: |
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