Herstellung nanostrukturierter funktionaler Schichten mittels plasmaunterstützter chemischer Gasphasenabscheidung = Synthesis of nanostructured functional films via plasma-enhanced chemical vapor deposition
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Düren
Shaker
2020
|
| Schriftenreihe: | Berichte aus der Chemie
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Tags: |
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