MEMS/NEMS sensors: fabrication and application
Due to the ever-expanding applications of micro/nano-electromechanical systems (NEMS/MEMS) as sensors and actuators, interest in their development has rapidly expanded over the past decade. Encompassing various excitation and readout schemes, the MEMS/NEMS devices transduce physical parameter change...
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| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Basel ; Beijing ; Wuhan ; Barcelona ; Belgrade
MDPI - Multidisciplinary Digital Publishing Institute
[2019]
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | kostenfrei https://mdpi.com/books/pdfview/book/1827 |
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