Silicon-on-insulator (SOI) technology manufacture and applications

Silicon-on-insulator (SOI) is a semiconductor wafer technology that produces higher performing, lower power devices than traditional bulk silicon techniques. SOI works by placing a thin, insulating layer, such as silicon oxide between a thin layer of silicon and the silicon substrate. This process h...

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Bibliographische Detailangaben
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Cambridge, UK Waltham, MA Woodhead Pub. 2014
Schriftenreihe:Woodhead Publishing series in electronic and optical materials
Schlagworte:
Online-Zugang:DE-860
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