Fabrication and design of resonant microdevices
This book discusses the main issues on fabrication, design, and applications of micromachined resonant devices as well as techniques that are commonly used for processing the output signal of resonant micro-electro-mechanical systems (MEMS). After a brief introduction to the concepts of resonance, a...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Norwich, NY
W. Andrew Inc.
© 2008
|
| Schriftenreihe: | Micro & nano technologies
3 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | DE-860 URL des Erstveröffentlichers |
| Tags: |
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