Micro mechanical systems principles and technology

In ten sections this book describes the principles and technology of Micro Mechanical Systems. Section one is a general introduction to the historical background and the parallels to microelectronics, reviewing the motivation for microsystems, and discussing microphysics and design and the evolution...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Format:	Elektronisch E-Book
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Amsterdam New York Elsevier 1998
Schriftenreihe:	Handbook of sensors and actuators v. 6
Schlagworte:	TECHNOLOGY & ENGINEERING / Mechanical Microelectromechanical systems Tecnologia Engenharia eletrônica Microactionneurs Microtechniques Micromécanique (ingénierie) Mikromechanik Mikrosystemtechnik Microelectromechanical systems > Handbooks, manuals, etc Mikroaktor Mikrosensor
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