PVD for microelectronics sputter deposition applied to semiconductor manufacturing

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GENERAL DESCRIPTION OF THE SERIES Physics of Thin Films is one of the longest running continuing series in thin film science, consisting of 25 volumes since 1963. The series contains quality studies of the properties of various thin films materials and systems. In order to be able to reflect the dev...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Powell, Ronald A. (VerfasserIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: San Diego Academic Press © 1999
Schriftenreihe:Thin films (San Diego, Calif.) v. 26
Schlagworte:
TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / Solid State
TECHNOLOGY & ENGINEERING / Electronics / Semiconductors
Thin film devices / Design and construction
Thin films
Vapor-plating
Física geral
Thin film devices > Design and construction
PVD-Verfahren
Mikroelektronik
Online-Zugang:DE-860
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