Si Silicon Silicon Nitride in Microelectronics and Solar Cells
This is the first of three Gmelin Handbook volumes in the silicon se ries that will cover silicon nitride, a normaUy solid material with the idealized formula Si N . This volume, 3 4 "Silicon" Supplement Volume B Sc, is devoted to applications of silicon nitride in microelec tronics and s...
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| Hauptverfasser: | , , , |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Berlin, Heidelberg
Springer Berlin Heidelberg
1991
|
| Ausgabe: | 8th Edition |
| Schriftenreihe: | Si. Silicium. Silicon (System-Nr. 15)
S-i / B / 1-5 / 5 / c |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | DE-634 URL des Erstveröffentlichers |
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