Polycrystalline Silicon for Integrated Circuits and Displays

Polycrystalline Silicon for Integrated Circuits and Displays, Second Edition presents much of the available knowledge about polysilicon. It represents an effort to interrelate the deposition, properties, and applications of polysilicon. By properly understanding the properties of polycrystalline sil...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Kamins, Ted (VerfasserIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Boston, MA Springer US 1998
Ausgabe:Second Edition
Schlagworte:
Online-Zugang:DE-634
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