Polycrystalline Silicon for Integrated Circuits and Displays
Polycrystalline Silicon for Integrated Circuits and Displays, Second Edition presents much of the available knowledge about polysilicon. It represents an effort to interrelate the deposition, properties, and applications of polysilicon. By properly understanding the properties of polycrystalline sil...
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1. Verfasser: | |
---|---|
Format: | Elektronisch E-Book |
Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
Boston, MA
Springer US
1998
|
Ausgabe: | Second Edition |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | DE-634 URL des Erstveröffentlichers |
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