CMOS VLSI Engineering Silicon-on-Insulator (SOI)
Silicon-On-Insulator (SOI) CMOS technology has been regarded as another major technology for VLSI in addition to bulk CMOS technology. Owing to the buried oxide structure, SOI technology offers superior CMOS devices with higher speed, high density, and reduced second order effects for deep-submicron...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Boston, MA
Springer US
1998
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | DE-634 URL des Erstveröffentlichers |
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