Chemical Physics of Thin Film Deposition Processes for Micro- and Nano-Technologies
An up-to-date collection of tutorial papers on the latest advances in the deposition and growth of thin films for micro and nano technologies. The emphasis is on fundamental aspects, principles and applications of deposition techniques used for the fabrication of micro and nano devices. The depositi...
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Dordrecht
Springer Netherlands
2002
|
| Schriftenreihe: | NATO Science Series, Series II: Mathematics, Physics and Chemistry
55 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | DE-703 URL des Erstveröffentlichers |
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