Materials & Process Integration for MEMS
The field of materials and process integration for MEMS research has an extensive past as well as a long and promising future. Researchers, academicians and engineers from around the world are increasingly devoting their efforts on the materials and process integration issues and opportunities in ME...
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Boston, MA
Springer US
2002
|
| Schriftenreihe: | Microsystems
9 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | DE-573 DE-634 URL des Erstveröffentlichers |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Wegen Wartungsarbeiten nicht verfügbar
Unser Bibliotheksverwaltungssystem ist momentan wegen Wartungsarbeiten nicht verfügbar.
Bestandes- und Verfügbarkeitsinformationen können momentan leider nicht angezeigt werden. Wir entschuldigen uns für die Umstände und stehen für weitere Fragen gerne zur Verfügung:
Online
DE-573DE-634
URL des Erstveröffentlichers