Optimal Synthesis Methods for MEMS
The field of "microelectromechanical systems," or "MEMS," has gradually evolved from a "discipline" populated by a small group of researchers to an "enabling technology" supporting a variety of products in such diverse areas as mechanical and inertial sensors,...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Boston, MA
Springer US
2003
|
| Schriftenreihe: | Microsystems
13 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | FHI01 BTU01 URL des Erstveröffentlichers |
| Tags: |
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