Optical physics for nanolithography
This book provides an in-depth, self-contained introduction of partially coherent imaging theory for researchers and engineers working on optical lithography for semiconductor manufacturing, including those in the EDA industry. It is mathematically complete: the opening chapters discuss the essentia...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Bellingham, Washington, USA
SPIE Press
[2018]
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | DE-1050 DE-92 URL des Erstveröffentlichers |
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