Low energy ion assisted film growth
This book is an introductory manual for Ion Assisted Deposition (IAD) procedures of thin films. It is addressed to researchers, post-graduates and even engineers with little or no experience in the techniques of thin film deposition. It reviews the basic concepts related to the interaction of low en...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
London
Imperial College Press
c2003
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | DE-92 URL des Erstveroeffentlichers |
| Tags: |
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