Molecular theory of lithography
This book is a unified exposition of the molecular theory that underlies lithographic imaging. It explains with physical-chemical theories the molecular-level interactions involved in lithographic imaging. It also provides the theoretical basis for the main unit operations of the advanced lithograph...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Bellingham, Washington
SPIE
2015
|
| Schriftenreihe: | SPIE Press monograph
PM255 SPIE Digital Library |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | DE-1050 URL des Erstveröffentlichers |
| Tags: |
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