Field guide to optical lithography
The material in this Field Guide is a distillation of material put together by Chris Mack over the past 20 years, including notes from his graduate-level lithography course at the University of Texas at Austin. This Field Guide details the lithography process, image formation, imaging onto a photore...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Bellingham, Wash.
SPIE
2006
|
| Schriftenreihe: | SPIE field guides
6 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | DE-1050 URL des Erstveröffentlichers |
| Tags: |
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