Gettering and defect engineering in semiconductor technology XV selected papers from the 15th Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology Conference, September 22-27, 2013, Oxford, UK
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Durnten-Zurich
Trans Tech publications Ltd
[2014]
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| Schriftenreihe: | Diffusion and defect data
v. 205/206 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | FAW01 FAW02 |
| Tags: |
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