Silicon science and advanced micro-device engineering II selected, peer reviewed papers from the 6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE 2010), December 9-10, 2010, Kiryu City Performing Arts Center, Kiryu, Japan

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	International Symposium on Silicon Science < 2010, Kiryū-shi, Japan> (VerfasserIn)
Format:	Elektronisch E-Book
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Durnten-Zurich Trans Tech Publications 2012
Schriftenreihe:	Key engineering materials v. 497
Schlagworte:	TECHNOLOGY & ENGINEERING / Mechanical Microelectronics Nanostructures Silicon Silicon > Congresses Nanostructures > Congresses Microelectronics > Congresses Konferenzschrift
Online-Zugang:	DE-1046 DE-1047 Volltext
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