Silicon science and advanced micro-device engineering II selected, peer reviewed papers from the 6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE 2010), December 9-10, 2010, Kiryu City Performing Arts Center, Kiryu, Japan

Silicon science and advanced micro-device engineering II selected, peer reviewed papers from the 6th International Symposium on Silicon Science and 2nd International Conference on Advanced Micro-Device Engineering (ISSS&AMDE 2010), December 9-10, 2010, Kiryu City Performing Arts Center, Kiryu, Japan

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft: International Symposium on Silicon Science < 2010, Kiryū-shi, Japan> (VerfasserIn)
Format: Elektronisch E-Book
Sprache:English
Veröffentlicht: Durnten-Zurich Trans Tech Publications 2012
Schriftenreihe:Key engineering materials v. 497
Schlagworte:
TECHNOLOGY & ENGINEERING / Mechanical
Microelectronics
Nanostructures
Silicon
Silicon > Congresses
Nanostructures > Congresses
Microelectronics > Congresses
Konferenzschrift
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