Papers from the 25th International Vacuum Nanoelectronics Conference 9-13 July 2012, Jeju, South Korea
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
|---|---|
| Format: | Tagungsbericht Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
New York, NY
American Inst. of Physics
2013
|
| Schriftenreihe: | Journal of vacuum science & technology
B, Nanotechnology and microelectronics ; 31,2 |
| Schlagworte: | |
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