Papers from the 23rd International Vacuum Nanoelectronics Conference 26 -30 July 2010, Palo Alto, CA
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Tagungsbericht Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
New York, NY
American Inst. of Physics
2011
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| Schriftenreihe: | Journal of vacuum science & technology : B, Nanotechnology & microelectronics
29,2 |
| Schlagworte: | |
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