Hot-wire CVD (Cat-CVD) process proceedings of the Sixth International Conference on Hot-Wire CVD (Cat-CVD) Process, Ecole Polytechnique, Palaiseau, France, September 13 - 17, 2010
Gespeichert in:
| Format: | Tagungsbericht Buch |
|---|---|
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Amsterdam [u.a.]
Elsevier
2011
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| Schriftenreihe: | Thin solid films
519,14 |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
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