Dielectric thin films for future electron devices: science and technology [selection of papers presented at the 2011 International Workshop on "Dielectric Thin Films for Future Electron Devices: Science and Technology" (IWDTF 2011), ... Tokyo on January 20 and 21 in 2011]
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Format: | Buch |
Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
Tokyo
Japan Soc. of Applied Physics
2011
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Schriftenreihe: | Japanese journal of applied physics
50,10,2 : special issue |
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