Dielectric thin films for future ULSI devices science and technology ; [selection of papers presented at the 2008 International Workshop on "Dielectric Thin Films for Future ULSI Devices: Science and Technology" ; (IWDTF2008), which was held in Tokyo from November 5 through 7 in 2008]
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Tokyo
Japan Soc. of Applied Physics
2009
|
| Schriftenreihe: | Japanese journal of applied physics
48,5,2 : Special issue |
| Schlagworte: | |
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