Mathematical analysis of partial differential equations modeling electrostatic MEMS
"Micro- and nanoelectromechanical systems (MEMS and NEMS), which combine electronics with miniature-size mechanical devices, are essential components of modern technology. It is the mathematical model describing 'electrostatically actuated' MEMS that is addressed in this monograph. Ev...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
New York, NY
Courant Inst. of Math. Sciences [u.a.]
2010
|
| Schriftenreihe: | Courant lecture notes in mathematics
20 |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Inhaltsverzeichnis |
| Tags: |
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