Microlithography science and technology

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Bibliographische Detailangaben
Format: Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: Boca Raton, Fla. [u.a.] CRC Press 2007
Ausgabe:2. ed.
Schriftenreihe:Optical science and engineering 126
Schlagworte:
Microlithography / Industrial applications
Integrated circuits / Masks
Metal oxide semiconductors, Complementary / Design and construction
Manufacturing processes
Circuits intégrés - Masques
Fabrication
MOS complémentaires - Conception et construction
Microlithographie - Applications industrielles
Integrated circuits > Masks
Metal oxide semiconductors, Complementary > Design and construction
Microlithography > Industrial applications
Lithografie > Halbleitertechnologie
Maskentechnik
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