Frontiers of characterization and metrology for nanoelectronics 2007 International Conference on Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics Gaithersburg, Maryland, 27 - 29 March 2007

Bibliographische Detailangaben

Weitere Verfasser:	Seiler, David G. (HerausgeberIn)
Format:	Tagungsbericht Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	Melville, NY AIP, American Inst. of Physics 2007
Schriftenreihe:	AIP conference proceedings 931
Schlagworte:	Kongress Metrologie Nanoelektronik Gaithersburg <Md., 2007>
Online-Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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