Untersuchung mechanischer Eigenschaften von a-C:H- und a-Si:H-Schichten mittels Brillouin-Streuung und Nanoindenter
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Jülich
Forschungszentrum Jülich, Inst. für Schicht- und Ionentechnik
1990
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schlagworte: | |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Beschreibung: | 92 S. Ill., graph. Darst. |
|---|