Untersuchung mechanischer Eigenschaften von a-C:H- und a-Si:H-Schichten mittels Brillouin-Streuung und Nanoindenter
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Abschlussarbeit Buch |
| Sprache: | German |
| Veröffentlicht: |
Jülich
Forschungszentrum Jülich, Inst. für Schicht- und Ionentechnik
1990
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| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schlagworte: | |
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