Papers from the 20th International Vacuum Nanoelectronics Conference 8 - 12 July 2007, Chicago, Illinois
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
|---|---|
| Weitere Verfasser: | |
| Format: | Tagungsbericht Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
New York, NY
American Inst. of Physics
2008
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| Schriftenreihe: | Journal of vacuum science & technology : B : an international journal devoted to microelectronics and nanometer structures
processing, measurement and phenomena 26,2 |
| Schlagworte: | |
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