Ion implantation in semiconductors and other materials [ proceedings of the 3. International Conference on Ion Implantation in Semiconductors and Other Materials held at the IBM Thomas J. Watson Research Center, Yorktown Heights, New York, December 11 - 14, 1972 ]

Ion implantation in semiconductors and other materials [ proceedings of the 3. International Conference on Ion Implantation in Semiconductors and Other Materials held at the IBM Thomas J. Watson Research Center, Yorktown Heights, New York, December 11 - 14, 1972 ]

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Bibliographische Detailangaben
Format:	Tagungsbericht Buch
Sprache:	English
Veröffentlicht:	New York [u.a.] Plenum Press 1973
Schriftenreihe:	The IBM research symposia series 1973
Schlagworte:	Ionenimplantation Konferenzschrift
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