Ion implantation in semiconductors and other materials [ proceedings of the 3. International Conference on Ion Implantation in Semiconductors and Other Materials held at the IBM Thomas J. Watson Research Center, Yorktown Heights, New York, December 11 - 14, 1972 ]
Gespeichert in:
Format: | Tagungsbericht Buch |
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Sprache: | English |
Veröffentlicht: |
New York [u.a.]
Plenum Press
1973
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Schriftenreihe: | The IBM research symposia series
1973 |
Schlagworte: | |
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