Ion implantation in semiconductors and other materials [ proceedings of the 3. International Conference on Ion Implantation in Semiconductors and Other Materials held at the IBM Thomas J. Watson Research Center, Yorktown Heights, New York, December 11 - 14, 1972 ]

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Bibliographische Detailangaben
Format: Tagungsbericht Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: New York [u.a.] Plenum Press 1973
Schriftenreihe:The IBM research symposia series 1973
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