Mechanical properties of CMOS thin films

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Ziebart, Volker 1969- (VerfasserIn)
Format: Mikrofilm Buch
Sprache:English
Veröffentlicht: 1999
Ausgabe:[Mikrofiche-Ausg.]
Schriftenreihe:ETH-Diss 13457
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