Papers from the 47th international symposium of AVS 2 - 6 October 2000, Hynes Convention Center, Boston, Massachusetts
Gespeichert in:
| Körperschaft: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
New York
American Inst. of Physics
2001
|
| Schriftenreihe: | Journal of vacuum science & technology : A
19,4,1 und 2 |
| Schlagworte: | |
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