Deposition of SiOx diffusion barriers on flexible packaging materials by plasma enhanced chemical vapor deposition
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Elektronisch E-Book |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
2004
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://e-collection.ethbib.ethz.ch/cgi-bin/show.pl?type=diss&nr=15684 |
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